UkrReferat.com
найбільша колекція україномовних рефератів

Всього в базі: 75843
останнє поновлення: 2016-12-04
за 7 днів додано 10

Реферати на українській
Реферати на російській
Українські підручники

$ Робота на замовлення
Реклама на сайті
Зворотній зв'язок

 

ПОШУК:   

реферати, курсові, дипломні:

Українські рефератиРусские рефератыКниги
НазваМоделювання процесів хемостимульованої міграції атомних часток у приповерхневих шарах напівпровідників: Автореф. дис... канд. фіз.-мат. наук / В.І. Ме
Автор
РозділДисертації, автореферати
ФорматWord Doc
Тип документуРеферат
Продивилось2348
Скачало105
Опис
ЗАКАЧКА
Замовити оригінальну роботу

2

 

 

 

 

 

 

 

Запорізький державний університет

 

 

 

 

 

 

 

Меняйло Вікторія Іванівна

 

 

 

 

 

 

 

УДК

539.183.535.376

 

 

 

 

 

МОДЕЛЮВАННЯ ПРОЦЕСІВ

 

ХЕМОСТИМУЛЬОВАНОЇ МІГРАЦІЇ

 

АТОМНИХ ЧАСТОК У ПРИПОВЕРХНЕВИХ

 

ШАРАХ НАПІВПРОВІДНИКІВ

 

 

 

 

 

Спеціальність: 01.04.10- фізика напівпровідників і диелектриків

 

 

 

 

 

 

 

А В Т О Р Е Ф Е Р А Т

 

 

 

дисертації на здобуття наукового ступеня кандидата фізико-математичних

наук

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Запоріжжя-1999

 

Дисертацією є рукопис

 

Робота виконана в Запорізькому державному університеті

 

Науковий керівник: доктор фізико-математичних наук, академік АН ВШ

України, професор Горбань Олександр Миколайович, перший проректор

Запорізького інституту державного і муніципального управління

 

Офіційні опоненти:

 

доктор фізико-математичних наук, академік АН ВШ України, професор

Бажин Анатолій Іванович, зав. кафедрою фізики твердого тіла і фізичного

матеріалознавства Донецького державного університету;

 

кандидат фізико-математичних наук, доцент Запорізького державного

технічного університету Корніч Григорій Володимирович

 

Провідна установа:

 

Харківський державний університет.

 

 

 

Захист відбудеться “_27_“ _квітня_1999 р. о __15__ годині на засіданні

спеціалізованої вченої ради К.17.051.04. при Запорізькому державному

університеті за адресою: 330600, Запоріжжя, вул. Жуковського,66.

 

З дисертацією можна ознайомитись у бібліотеці Запорізького

державного університету.

 

Відгуки на автореферат у двох примірниках, засвідчені печаткою,

прохання надсилати за вказаною адресою на ім’я вченого секретаря

спеціалізованої вченої ради.

 

 

 

Автореферат розісланий “ ____26___“__березня 1999 р.

 

 

 

Вчений секретар

 

спеціалізованої вченої ради К.17.051.04.

 

кандидат фіз.- мат. наук

Швець Ю.О.

 

 

 

 

 

 

 

ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА РОБОТИ

 

 

 

Актуальність теми. Останнім часом невпинно зростає інтерес до досліджень

атомних і електронних процесів на поверхні напівпровідників при їх

взаємодії з атомарними газами, зокрема, з атомарним воднем. Однак,

широке практичне застосування атомарного водню для обробки

напівпровідникових структур в промисловій електроніці стримується

недостатнім розумінням фізики процесів, ефектів і явищ, які

супроводжують взаємодію атомарного водню з поверхнею напівпровідників, у

тому числі і процесів хемостимульованої міграції атомних часток у

приповерхневих шарах напівпровідників.

 

Хемостимульована дифузія (ХСД) має ряд переваг у порівнянні з

традиційними способами прискорення дифузії. Можливість протікання ХСД

при низьких температурах (близьких до кімнатної) призводить до значного

поліпшення багатьох електричних та структурних властивостей

напівпровідників. ХСД може призводити до такого розподілу дифузійних

профілей, який не може бути одержаний у звичайних умовах при термічній

дифузії, що в свою чергу може сприяти підвищенню якості

-----> Page:

0 [1] [2] [3] [4] [5] [6] [7] [8] [9] [10] [11] [12] [13] [14] [15]

ЗАМОВИТИ ОРИГІНАЛЬНУ РОБОТУ