UkrReferat.com
найбільша колекція україномовних рефератів

Всього в базі: 75838
останнє поновлення: 2016-12-03
за 7 днів додано 10

Реферати на українській
Реферати на російській
Українські підручники

$ Робота на замовлення
Реклама на сайті
Зворотній зв'язок

 

ПОШУК:   

реферати, курсові, дипломні:

Українські рефератиРусские рефератыКниги
НазваОсновні шляхи досягнення граничних можливостей методу еліпсометрії: Автореф. дис... канд. фіз.-мат. наук / В.В. Бобро, Сум. держ. ун-т. — Суми, 1999.
Автор
РозділДисертації, автореферати
ФорматWord Doc
Тип документуРеферат
Продивилось2261
Скачало97
Опис
ЗАКАЧКА
Замовити оригінальну роботу

СУМСЬКИЙ ДЕРЖАВНИЙ УНІВЕРСИТЕТ

 

БОБРО ВАЛЕРІЙ ВАСИЛЬОВИЧ

 

УДК 535.5.511:531.7

 

ОСНОВНІ ШЛЯХИ ДОСЯГНЕННЯ ГРАНИЧНИХ

 

МОЖЛИВОСТЕЙ МЕТОДУ ЕЛІПСОМЕТРІЇ

 

Спеціальність 01.04.01- фізика приладів, елементів і систем

 

АВТОРЕФЕРАТ

 

дисертації на здобуття наукового ступеня

 

кандидата фізико-математичних наук

 

СУМИ-1999

 

Дисертацією є рукопис.

 

Робота виконана в Інституті прикладної фізики НАН України (м.Суми) та

у ВАТ “Феодосійський приладобудівний завод ” (м. Феодосія).

 

Науковий керівник доктор фізико-математичних наук,

 

професор Семененко

Альберт Іванович,

 

Інститут прикладної

фізики НАН України,

 

головний науковий

співробітник

 

Офіційні опоненти доктор фізико-математичних наук,

 

професор Шайкевич Ігор

Андрійович,

 

Київський національний університет

імені

 

Тараса Шевченка, професор кафедри оптики

 

доктор фізико-математичних наук,

 

професор Погребняк

Олександр Дмитрович,

 

Сумський державний

університет

 

Провідна установа - Харківський державний університет.

 

Захист відбудеться “23” вересня 1999 р. о 15 годині на засіданні

 

спеціалізованої вченої ради Д55.051.02 у Сумському державному

університеті за адресою:

 

244007, м. Суми, вул. Римського-Корсакова, 2, корп.ЕТ, ауд.216.

 

З дисертацією можна ознайомитися у бібліотеці Сумського державного

університету.

 

Автореферат розісланий “17” серпня 1999 року.

 

Вчений секретар

 

спеціалізованої ради

О.А.Борисенко

 

ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА РОБОТИ

 

 

Актуальність теми. При застосуванні сучасних технічних засобів

еліпсометрія дозволяє розробити цілу низку безконтактних, неруйнівних,

чутливих методів дослідження стану поверхні та структури тонких

поверхневих плівок. Навіть мінутна точність у вимірюванні поляризаційних

кутів ( та ( дозволяє визначити товщину поверхневої плівки з точністю

до ( 0,1 нм, а показник заломлення - з точністю до третього знака після

коми. Висока чутливість методу дозволяє досліджувати фізико-хімічні

процеси на поверхні твердих тіл та рідин, фіксуючи соті частки

моношару, однак при цьому основне значення має можливість вимірювання

дуже малих зсувів значень кутів ( та (, але не абсолютна точність

вимірювання цих кутів. Проте практично важлива задача визначення великої

кількості невідомих параметрів багатошарових поверхневих структур для

свого задовільного розв’язання потребує використання приладів, які

забезпечують секундну (порядку 5-10 секунд) точність вимірювання самих

значень кутів ( та (, а не тільки їх зсувів. Така ж сама проблема

виникає й при дослідженні надтонких (менше ніж 10 нм) плівок, а також

-----> Page:

0 [1] [2] [3] [4] [5] [6] [7] [8] [9] [10] [11] [12] [13] [14] [15]

ЗАМОВИТИ ОРИГІНАЛЬНУ РОБОТУ