UkrReferat.com
найбільша колекція україномовних рефератів

Всього в базі: 75834
останнє поновлення: 2016-11-29
за 7 днів додано 10

Реферати на українській
Реферати на російській
Українські підручники

$ Робота на замовлення
Реклама на сайті
Зворотній зв'язок

 

ПОШУК:   

реферати, курсові, дипломні:

Українські рефератиРусские рефератыКниги
НазваПлазмова компенсація іонних пучків в поперечному магнітному полі: Автореф. дис... канд. фіз.-мат. наук / А.Є. Кашаба, Харк. держ. ун-т. — Х., 1999. —
Автор
РозділДисертації, автореферати
ФорматWord Doc
Тип документуРеферат
Продивилось1831
Скачало142
Опис
ЗАКАЧКА
Замовити оригінальну роботу

 

 

 

МІНІСТЕРСТВО ОСВІТИ УКРАЇНИ

 

ХАРКІВСЬКИЙ ДЕРЖАВНИЙ УНІВЕРСИТЕТ

 

 

 

 

 

На правах рукопису

 

 

 

 

 

УДК 533.9.01

 

 

 

 

 

КАШАБА Андрій Євгенович

 

 

 

 

 

ПЛАЗМОВА КОМПЕНСАЦІЯ ІОННИХ ПУЧКІВ В ПОПЕРЕЧНОМУ МАГНІТНОМУ ПОЛІ

 

 

 

 

 

01.04.08 фізика плазми

 

 

 

 

 

 

 

Автореферат

 

дисертації на здобуття наукового ступеня

 

кандидата фізико-математичних наук

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Харків – 1999

 

Дисертацією є рукопис.

 

Робота виконана в Харківському державному університеті

 

 

 

Науковий керівник: кандидат фізико-математичних наук, доцент

 

БІЗЮКОВ Олександр Анатолійович,

 

Харківський державний університет, доцент кафедри фізики плазми ;

 

Офіційні опоненти: доктор фізико-математичних наук, професор

 

ПАДАЛКА Валентин Глібович,

 

Державний аерокосмічний університет ім. М.Є.Жуковського “ХАІ”, завідувач

кафедри фізики;

 

 

 

кандидат фізико-математичних наук, ст. науковий співробітник

 

ФЕДОРЧЕНКО Володимир Дмитрович,

 

Національний науковий центр “Харківський фізико-технічний інститут” (ННЦ

ХФТІ), ст. науковий співробітник.

 

 

 

Провідна установа: Науковий фізико-технологічний центр Міносвіти та НАН

України, м.Харків.

 

Захист відбудеться “ 25 ” червня 1999р. о 15 годині на засіданні

спеціалізованої вченої ради Д 64.051.12 Харківського державного

університету за адресою: 310108, м. Харків-108, пр. Курчатова, 31,

ауд.301.

 

З дисертацією можна ознайомитись у центральній науковій бібліотеці

Харківського державного університету.

 

Автореферат розісланий “ 24 ” травня 1999р.

 

Вчений секретар

 

спеціалізованої вченої ради Письменецький

С.О.

 

 

 

ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА РОБОТИ

 

Актуальність теми. За теперішнього часу поряд з дослідженнями,

спрямованими на отримання енергії термоядерного синтезу, активно

проводяться фундаментальні і прикладні дослідження газорозрядної плазми

як джерела інтенсивних потоків заряджених частинок для плазмових

прискорювачів і космічних електрореактивних двигунів, отримання

інтенсивних пучків іонів і нейтральних частинок для технологічних цілей.

Результати цих досліджень використовуються при розробці

вакуумно-плазмових технологій для виробництва напівпровідникових

пристроїв в мікроелектроніці, нанесенні антикорозійних, зносостійких і

декоративних покриттів в промисловості та інших цілей.

 

Серед різноманітності вакуумно-плазмових технологій особливе місце

займають іонно-плазмові методи обробки поверхні твердого тіла, за

допомогою яких можуть бути удосконалені існуючі і розроблені принципово

нові технологічні процеси, такі як вилучення шарів з обробляємої

поверхні у виробництві субмікронних надвеликих інтегральних схем і

напівпровідникових пристроїв, очищення і полірування поверхонь, іонне

легування напівпровідників, іонна імплантація і модифікація матеріалів.

 

Основні проблеми, що потребують розв’язання при використанні інтенсивних

іонних пучків, пов’язані з необхідністю нейтралізації об’ємного заряду і

компенсації току пучка. Перша проблема постає за рахунок того, що

значний позитивний об’ємний заряд пучка створює сильне електричне поле в

просторі транспортування, що спричиняє розширення, сповільнення і навіть

-----> Page:

0 [1] [2] [3] [4] [5] [6] [7] [8] [9] [10]

ЗАМОВИТИ ОРИГІНАЛЬНУ РОБОТУ